第一步：首先，離子氮化多用途爐體與供氣系統(tǒng)分離，目的是區(qū)分是否是爐體或供氣系統(tǒng)引起的漏風(fēng)。將進(jìn)氣管與鐘罩分開，然后密封進(jìn)氣接頭，啟動真空泵抽真空，抽到較高的真空度（例如。約30Pa或更高），關(guān)閉蝶閥，暫停一段時間（15-30分鐘），觀察設(shè)備漏氣情況..

第二步：在完成第一步驟中，當(dāng)多片式等離子體氮化爐內(nèi)氣體泄漏后，應(yīng)檢查每個可能的泄漏的每個密封部分（包括觀察窗，充氣機，鐘降低密封凸緣表面上的大凸緣之間的耦合底盤密封，壓力密封部分，所述陰極，氣門和排氣管道等）的密封部，直到該離子氮化爐多基本上是氣密for.NOTE：在實施例中，當(dāng)檢查步驟中，遵循的原則是“分段”試驗方法，即，步驟一個步驟，每個步驟之后進(jìn)行檢查，真空檢查所觀察到的效果，如果泄漏被解決，則沒有其他測試來執(zhí)行。否則，又將體檢

第三步：第一步后，如果離子滲氮的多功能爐體沒有泄漏，則爐體的所有密封件都處于良好狀態(tài)。然后慢慢打開蝶閥，可能出現(xiàn)以下兩種情況。

步驟4: 前三步完成后，解決了滲氮多用爐爐體漏氣問題或確定漏氣不是爐體造成的，將第一步從等離子滲氮爐爐體分離出來的進(jìn)氣管重新連接到爐鐘罩上(并確保接頭密封良好) ，先關(guān)閉流量計，然后啟動真空泵對爐體進(jìn)行真空。 這個程序的目的是檢查氣體供應(yīng)系統(tǒng)是否有泄漏。 如果發(fā)現(xiàn)設(shè)備漏氣，可以檢查進(jìn)氣接頭、風(fēng)管、各種氣流三通接頭密封，直到氣體漏氣問題消除。