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多用爐熱處理如何預(yù)防泄露
一步:首先,離子氮化多用途爐體與供氣系統(tǒng)分離,目的是區(qū)分是否是爐體或供氣系統(tǒng)引起的漏風(fēng)。將進(jìn)氣管與鐘罩分開,然后密封進(jìn)氣接頭,啟動真空泵抽真空,抽到較高的真空度(例如。約30Pa或更高),關(guān)閉蝶閥,暫停一段時間(15-30分鐘),觀察設(shè)備漏氣情況..
二步:在完成第一步驟中,當(dāng)多片式等離子體氮化爐內(nèi)氣體泄漏后,應(yīng)檢查每個可能的泄漏的每個密封部分(包括觀察窗,充氣機(jī),鐘降低密封凸緣表面上的大凸緣之間的耦合底盤密封,壓力密封部分,所述陰,氣門和排氣管道等)的密封部,直到該離子氮化爐多基本上是氣密for.NOTE:在實施例中,當(dāng)檢查步驟中,遵循的原則是“分段”試驗方法,即,步驟一個步驟,每個步驟之后進(jìn)行檢查,真空檢查所觀察到的效果,如果泄漏被解決,則沒有其他測試來執(zhí)行。否則,又將體檢
三步:第一步后,如果離子滲氮的多功能爐體沒有泄漏,則爐體的所有密封件都處于良好狀態(tài)。然后慢慢打開蝶閥,可能出現(xiàn)以下兩種情況。
四步: 前三步完成后,解決了滲氮多用爐爐體漏氣問題或確定漏氣不是爐體造成的,將第一步從等離子滲氮爐爐體分離出來的進(jìn)氣管重新連接到爐鐘罩上(并確保接頭密封良好) ,先關(guān)閉流量計,然后啟動真空泵對爐體進(jìn)行真空。 這個程序的目的是檢查氣體供應(yīng)系統(tǒng)是否有泄漏。 如果發(fā)現(xiàn)設(shè)備漏氣,可以檢查進(jìn)氣接頭、風(fēng)管、各種氣流三通接頭密封,直到氣體漏氣問題消除。